大陸晶片製造關鍵設備再突破 第三代半導體類股大漲 | 聯合新聞網：最懂你的新聞網站 這個新聞, 2020/07 有看過了
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打破国外垄断！国产高能离子注入机重大突破[CSI...
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據悉，離子注入機是芯片製造中至關重要的核心關鍵裝備。集成電路領域離子注入機包括三種機型，大束流離子注入機、中束流離子注入機和高能離子注入機。
目前世界範圍內以集成電路領域離子注入機為主要業務的公司共有6家，分別為美國AMAT/Varian和Axcelis、日本SMIT和Nissin、中國台灣地區AIBT、以及國內電科裝備。
---等離子 是指 電漿.
